ICS 81.060.3 0 H 72 ZZB 浙江制造 团体标准 T/ZZB 0639—2018 氧化锌铝 磁控溅射靶材 Alumium doped z inc oxide magnetron sputtering targe ts 2018 - 10 - 19发布 2018 - 11 - 01实施 浙江省品牌建设联合会 发布 ZHEJIANG MADET/ZZB 0639—2018 I 目 次 前言 ................................................................................ II 1 范围 .............................................................................. 1 2 规范性引用文件 .................................................................... 1 3 术语和定义 ........................................................................ 1 4 基本要求 .......................................................................... 1 5 技术要求 .......................................................................... 2 6 试验方法 .......................................................................... 4 7 检验规则 .......................................................................... 5 8 标志、包装、运输和贮存 ............................................................ 6 9 质量承诺 .......................................................................... 7 附录A（规范性附录） 氧化锌铝靶材失氧率测定方法 ...................................... 8 ZHEJIANG MADET/ZZB 0639 —2018 II 前 言 本标准按照 GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。 本标准由浙江 省品牌建设联合会 提出并归口 。 本标准由宁波市标准化研究院牵头组织制定。 本标准主要起草单位：宁波森利电子材料有限公司。 本标准参与 起草单位：宁波市标准化研究院 、 中国科学院宁波材料技术与工程研究所、 国标 （北京） 认证有限公司、汉能装备科技集团有限公司、北京安泰六九新材料科技有限公司（排名不分先后）。 本标准 主要起草人： 杨晔、周山山、何伟、 兰品军、朱永明 、李翔、宋伟杰、李勇、马通达、杨立 红、宋云娜、张凤戈。 本标准由宁波市标准化研究院负责解释。 ZHEJIANG MADET/ZZB 0639—2018 1 氧化锌铝磁控溅射靶材 1 范围 本标准规定了氧化锌铝磁控溅射 靶材的术语和定义、 基本要求、技术要求、试验方法、 检验规则、 标志、包装、运输 和贮存、质量承诺等。 本标准适用于粉末冶金生产的用于磁控溅射沉积节能 Low-E玻璃的功能介质层以及薄膜太阳能电池 透明电极层等膜层 的氧化锌铝磁控溅射靶材 。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 191 包装储运图示标志（ GB/T 191—2008， ISO 780：1997， MOD） GB/T 1031 产品几何技术规范 (GPS) 表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值 GB/T 1410 固体绝缘材料体积电阻率和表面电阻率试验方法 （GB/T 1410—2006， IEC 60093 ：1980， IDT） GB/T 6394 金属平均晶粒度测定方法 GB/T 7234 产品几何量技术规范(GPS) 圆度测量 术语、定义及参数 GB/T 7235 产品几何量技术规范(GPS) 评定圆度误差的方法 半径变化量测量 GB/T 8651 金属板材超声板波探伤方法 GB/T 11336 直线度误差检测 GB/T 11337 平面度误差检测 GB/T 11942 彩色建筑材料色度测量方法 GB/T 12969.1 钛及钛合金管材超声波探伤方法 GB/T 13298 金属显微组织检验方法 GB/T 20967 无损检测 目视检测 总则 GB/T 23768 无机化工产品 火焰原子吸收光谱法通则 GB/T 25995 精细陶瓷密度和显气孔率试验方法 （GB/T 25995—2010，ISO 18754：2003 ，MOD） GB/T 30905 无机化工产品 元素含量的测定 X 射线荧光光谱法 YS/T 837 溅射靶材 -背板结合质量超声波检验方法 JC/T 2201—2013 镀膜玻璃用靶材 3 术语和定义 JC/T 2201—2013界定的术语和定义适用于本文件 。 4 基本要求 ZHEJIANG MADET/ZZB 0639 —2018 2 4.1 设计研发 4.1.1 具备不同掺杂类型靶材的成分设计、小尺寸靶材快速制备以及镀膜与薄膜性能验证的能力。 4.1.2 具备批量化纳米级粉体原料的表面修饰与高浓度分散的能力。 4.1.3 具备大尺寸坯体的高致密成型与低温致密烧结的能力。 4.1.4 具备生产优化以及提升生产效率的能力。 4.2 原材料 氧化锌以及氧化铝原料粉体的化学成分应分别符合表 1和表2的规定。 表1 氧化锌粉体原料的化学成分表 项目 指标值 氧化锌粉体的质量分数不小于，wt% 99.98 金属杂质质量分数不大于，wt% Pb 0.002 Cu 0.001 Cd 0.001 Mn 0.001 Fe 0.002 其它 0.013 注：氧化锌的质量分数为100%减去表中金属杂质实测质量分数总和的余量。 表2 氧化铝粉体原料的化学成分表 项目 指标值 氧化铝粉体的质量分数不小于，wt% 99.99 金属杂质质量分数不大于，wt% Si 0.005 Fe 0.004 其它 0.001 注：氧化铝的质量分数为100%减去表中金属杂质实测质量分数总和的余量。 4.3 生产制造 具备温湿度可控的生产厂房 ；具备烧结全过程的实时监控手段； 具备硬脆陶瓷材料的柔性机加工手 段；具备易脆陶瓷靶材在背板以及背管表面高质量绑定的能力。 4.4 检验检测 具备靶材密度、靶材电阻率、靶材本体和绑定接触面超声波无损探伤等项目的检测能力。 5 技术要求 5.1 化学成分 5.1.1 主要成分 ZHEJIANG MADET/ZZB 0639—2018 3 5.1.1.1 在典型应用的氧化锌铝靶材中，氧化锌和氧化铝的质量比例有如下两种： a) ZnO:Al2O3 = 98 :2，氧化铝的质量比例偏差为±0.2 ； b) ZnO:Al2O3 = 98 .85:1.15 ，氧化铝的质量比例 偏差为±0.1。 5.1.1.2 特殊比例规格，由供需双方商定。 5.1.2 纯度和杂质 5.1.2.1 靶材纯度应不小于 99.95 wt%。 5.1.2.2 主要杂质成分应符合表 3的规定。 表3 氧化锌铝磁控溅射靶材的主要杂质成分要求 项目 指标值 金属杂质质量分数不大于，wt% Fe 0.001 Si 0.01 Na 0.005 Pb 0.002 Ca 0.005 其他 0.027 注：氧化锌铝的质量分数为100%减去表中金属杂质实测质量分数总和的余量。 5.2 靶材表观密度和相对密度 靶材的表观密度和相对密度 要求见表 4所示。 表4 氧化锌铝靶材的表观密度和相对密度要求 氧化铝掺杂浓度 wt% 理论密度 g/cm3 靶材表观密度 g/cm3 相对密度 % 2 5.57 ≥5.52 ≥99 1.15 5.59 ≥5.53 ≥99 5.3 表面质量 5.3.1 应无裂纹，无明显崩边，无气孔，且无任何外来夹杂物、缺陷和污染物，接缝处应无绑定材料 残留。 5.3.2 在同一根/ 支靶材中每一节靶材之间的颜色色差 △Eab*应不大于 3。 5.4 内部缺陷 5.4.1 靶材本体缺陷 应无夹杂，无孔径大于2 mm的孔洞。 5.4.2 靶材绑定缺陷 绑定靶材的有效粘接面积应大于靶材和衬管 /衬板接触面积的 95%。 5.5 尺寸规格 ZHEJIANG MADET/ZZB 0639 —2018 4 5.