ICS 71.100.20 G 86 团 体 标 准 T/CCGA 30003—2019 超纯三氟化氮 Ultra pure nitrogen trifluoride 2019 -10-29发布 2020 - 01 - 29实施 中国工业气体工业协会 发布 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/CCGA 30003—2019 I 目 次 前言 ................................ ................................ ................ II 1 范围 ................................ ................................ .............. 1 2 规范性引用文件 ................................ ................................ .... 1 3 技术要求 ................................ ................................ .......... 1 4 试验方法 ................................ ................................ .......... 1 5 包装、标志、贮运及安全 ................................ ............................ 4 6 安全警示 ................................ ................................ .......... 5 附录A（资料性附录） 切割气路流程示意图 ................................ .............. 6 附录B（规范性附录） 酸度（以 HF计）的测定 ................................ ........... 7 参考文献 ................................ ................................ ............. 9 全国团体标准信息平台 T/CCGA 30003—2019 II 前 言 本标准按照 GB/T 1.1 -2009给出的规则起草。 本标准由中国工业气体工业协会提出并归口。 本标准起草单位： 中国船舶重工集团公司第七一八研究所 、中国工业气体工业协会 。 本标准主要起草人： 郑秋艳、李翔宇、 洑春干、 孟祥军、孙秋丽、袁瑞玲、胡帅、曹红梅 、宋芳芳 。 全国团体标准信息平台 T/CCGA 30003—2019 1 超纯三氟化氮 1 范围 本标准规定了瓶装超纯三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存 和安全。 本标准适用于 电解合成粗品 三氟化氮 ，通过精馏提纯生产的超纯三氟化氮 。它主要用作电子工业中 等离子体工艺蚀刻剂和化学气相沉积的清洗剂。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。 凡是注日期的引用文件， 仅 注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 5099 钢质无缝气瓶 GB/T 5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分 光腔衰荡光谱法 GB/T 6681 气体化工产品采样通则 GB/T 7144 气瓶颜色标志 GB/T 14194 压缩气体充装规定 气瓶安全技术监察规程 3 技术要求 超纯三氟化氮应 符合表1的要求。 表1 技术指标 项目 指标 三氟化氮 (NF3)（体积分数） ，10-2 ≥ 99.999 四氟化碳 (CF4)（体积分数） ，10-6 ≤ 5 氮(N2)（体积分数） ，10-6 ≤ 1 氧+氩(O2+Ar)（体积分数） ，10-6 ≤ 1 一氧化碳 (CO)（体积分数） ，10-6 ≤ 0.5 二氧化碳 (CO2)（体积分数） ，10-6 ≤ 0.5 氧化亚氮 (N2O)（体积分数） ，10-6 ≤ 0.5 六氟化硫 (SF6)（体积分数） ，10-6 ≤ 0.5 酸度(以HF计)（体积分数） ，10-6 ≤ 0.5 水（H2O）（体积分数） ，10-6 ≤ 0.5 4 试验方法 4.1 抽样、判定和复验 全国团体标准信息平台 T/CCGA 30003—2019 2 4.1.1 从同一来源稳定充装的超纯三氟化氮气体构成一批，并建立批次的定义规则。一般以生产日期 + 充装位置 定义产品批次，以便于产品追溯。 4.1.2 对于超纯三氟化氮 (一般单独包装重量不小于 200公斤)应按照表 1的要求逐一检验，当各杂质 指标符合表 1的要求时，即可认为产品符合超纯三氟化氮的要求，产品中三氟化氮 含量可利用差减法计 算得到。 4.1.3 对于逐一检验的产品，当检验结果有一项不符合表 1的要求时，应判定该产品不合格。 4.1.4 当客户要求产品包装较小（比如单独包装重量不大于 25公斤/瓶）时，对不易受到外界环境影 响的杂质，如酸度 (以HF计)和水（H2O），可按照表 2规定从每批产品中进行抽样，取样应当符合 GB/T 6681中的相关规定，确保所取得样品的代表性。对容易受到外界环境影响的杂质，如氧 +氩(O2+Ar)、氮 (N2)、一氧化碳 (CO)、二氧化碳 (CO2)、四氟化碳 (CF4)、氧化亚氮 (N2O)、六氟化硫 (SF6)等气相杂质应逐 一检测。 表2 瓶装超纯三氟化氮产品抽样表 每批气瓶数 最少抽样气瓶数 1 1 2～8 2 9～15 3 16～25 5 ＞25 8 4.1.5 对于抽检的产品指标，当抽检 结果有一 项不符合本标准要求时，应判定该批不合格或者转为逐 一检测筛选合格产 品。 4.2 超纯三氟化氮纯度 三氟化氮纯度按式（ 1）计算： Φ=100-（Φ1+Φ2+Φ3+Φ4+Φ5+Φ6+Φ7+Φ8+Φ9）×10-4………………… (1) 式中: Φ——三氟化氮 (NF3)纯度的体积分数， 10-2； Φ1——四氟化碳 (CF4)的体积分数， 10-6； Φ2——氮(N2)的体积分数， 10-6； Φ3——氧加氩(O2+Ar)的体积分数， 10-6； Φ4——一氧化碳 (CO)的体积分数， 10-6； Φ5——二氧化碳 (CO2)的体积分数， 10-6； Φ6——氧化亚氮 (N2O)的体积分数， 10-6； Φ7——六氟化硫 (SF6)的体积分数， 10-6； Φ8——酸度(以HF计)的体积分数， 10-6； Φ9——水（H2O）的体积分数， 10-6。 4.3 氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳、氧化亚氮、六氟化硫含量的测定 4.3.1 仪器 全国团体标准信息平台 T/CCGA 30003—2019 3 采用配备氦离子化检测器的气相色谱仪（允许使用配备其他等效检测器的气相色谱仪）测定三氟化 氮中氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳、氧化亚氮、六氟化硫的含量。 以上仪器应当配备气路切割 系统，用于切除样品气中绝大部分的三氟化氮。典型的气路切割示意图 参见附录A。 4.3.2 测定条件 4.3.2.1仪器检测限 所采用的气相色谱仪对三氟化氮中氧 +氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳、氧化亚氮、六氟 化硫的检测限 应分别不大于本标准表 1所列相应杂质指标的 1/5。 4.3.2.2色谱柱 预分离柱 1：长2.0 m，内径3mm，内装粒度为 0.150mm～0.180mm的CST不锈钢色谱柱。色谱柱在 180℃ 通载气活化 2h后备用，预分离柱使用温度为 50℃。或采用其它等效色谱柱。 预分离柱 2：长5.0 m，内径3mm，内装粒度为 0.18mm～0.25mm的Porapak Q不锈钢柱。色谱柱在 180℃ 通载气活化 2h后备用，预分离柱使用温度为 50℃。或采用其它等效色谱柱。 分析柱1：长3.0 m，内径3 mm，内装粒度为 0.150mm～0.180mm mm 的MS-13X（或5A）分子筛，分子 筛预先在马弗炉中于 450 ℃活化3 h，冷至室温后装柱，然后再在仪器上以载气和流速与分析样品时同 样的条件于 150 ℃活化2 h，分析柱柱温约 50℃。或采用其它等效色谱柱。 分析柱2：长7.0 m，内径3 mm，内装粒度为 0.180 mm ～0.250 mm 的Porapak Q 有机多孔聚合物的 不 锈钢柱。色谱柱在 180℃通载气活化 2h后备用，分析柱柱温约 50℃。或采用其它等效色谱柱。 4.3.2.3气体标准样品 所采用的气体标准样品中杂质的含量应当与被测试样中所对应的含量相近，当不具备相应条件时， 气体标准样品中氮、氧 +氩、一氧化碳、二氧化碳、氧化亚氮、四氟化碳、六氟化硫的含量应约为 5×10-6 （体积分数），平衡气为氦气 ，气体标准样品定值的不确定度应 小于10