ICS 01.040.03 CCS ICMTIA A 00 集成电路材料产业技术创新联盟 团体标准 T/ICMTIA BS0029—2022 集成电路材料产品成熟度等级划分及定义 Classification and definition of the product maturity levels for IC materials 2022 - 07 - 04发布 2022 - 07 - 31实施 中关村集成电路材料产业技术创新联盟 发布 全国团体标准信息平台 T/ICMTIA BS0029—2022 I 目次 前言 ................................................................................. II 1 范围 ............................................................................... 1 2 规范性引用文件 ..................................................................... 1 3 术语和定义 ......................................................................... 1 4 产品成熟度等级划分及要求 ........................................................... 1 等级划分 ....................................................................... 2 等级条件 ....................................................................... 2 5 判定规则 ........................................................................... 4 参考文献 .............................................................................. 5 全国团体标准信息平台 T/ICMTIA BS0029—2022 II 前言 本文件按照 GB/T 1.1 —2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件由中关村集成电路材料产业技术创新联盟 提出并归口。 本文件起草单位：中关村集成电路材料产业技术创新联盟 、晶瑞电子材料股份有限公司、沧州信联 化工有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、欧中电子材料（重庆）有限公司、安集微电子科技（上海） 股份有限公司、北京科华微电子材料有限公司、上海新阳半导体材料股份有限公司、湖北兴福电子材料 有限公司、广州广芯封装基板有限公司、新昇半导体科技有限公司、中巨芯科技股份有限公司、有研亿 金新材料有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、 宁波江丰电子材料股份有限公司、有研 半导体硅材料股份公司、全椒南大光电材料有限公司、烟台德邦科技股份有限公司 、浙江金瑞泓科技股 份有限公司、江苏鑫华半导体材 料科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、大连保税区科利德化工 科技开发有限公司、福建德尔科技有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、江苏华海诚科新材料股 份有限公司、 联仕（昆山）化学材料有限公司、上海正帆科技股份有限公司、苏州金宏气体股份有限公 司、 荣耀电子材料 （重庆） 有限公司、 沁阳国顺硅源光电气体有限公司、 湖北鼎汇微电子材料有限公司、绿菱电子材料（天津）有限公司、安徽亚格盛电子新材料有限公司 。 本文件主要起草人：石瑛、邓希、张香芝、宁一霖、王佳、王大方、 刘兵、孙炜 金旭、宁晓晓、 雷海平、荆建芬、李欣、刘杰、 史筱超、李少平、崔会东、徐婧、冯天、陈刚、吕保国、 丁照崇、丁成、 王志民、 姚力军、廖培君、曹孜、赵而敬、孙建、 徐友志、梁兴勃、赵培芝、傅铸红、茹高艺、施旖旎、 张晓明、张丽萍、何珂、戈烨铭、韩江龙、侍二增、林益兴、李东升、孙猛、蒲飞亚、赵铁、梅黎黎、汤萍、徐昕、俞冬雷。 全国团体标准信息平台 T/ICMTIA BS002 9—2022 1 集成电路材料产品 成熟度等级划分及定义 1 范围 本文件规定了集成电路材料产品 成熟度的定义、等级划分 和条件、以及 判定规则。 本文件适用于集成电路材料 产品成熟度的 评价。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。 其中， 注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T 37264-2018 新材料技术成熟度等级划分及定义 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 集成电路材料 Integrated circuit materials 用于集成电路生产制造的 衬底材料、掩模、光刻材料、电子气体、工艺化学品、抛光材料、 溅射靶 材、封装材料 和耗材的总称。 产品成熟度 Product readiness 产品满足技术预期 和实现商业化 应用目标的程度。 产品成熟度等级 Product readiness levels 用于衡量产品成熟度的尺度。 样品 samples 在实验室阶段，根据产品设计要求而制备的用于测试主要性能和检验工艺性的实物，可不考虑最终 形式。 试制品 pilot products 在工程化阶段，考虑最终形式，并在实验室环境或使用环境下，对关键性能和功能进行测试，通过 小批量或小规模制备的实物。 产品 products 在产业化阶段，生产工艺成熟，可批量生产，并能实现全部功能，完全满足预期使用目标的实物。 模拟环境 simulation environments 模拟真实使用环境，用以验证技术原理和使用功能的试验环境。 使用环境 real environments 产品实际使用时的环境和工况。 4 产品成熟度 等级划分及要求 全国团体标准信息平台 T/ICMTIA BS0029—2022 2 等级划分 集成电路材料 产品成熟度按三个阶段 分为九个等级 ，各等级的成熟度 界定见表1。 表1 产品成熟度等级界定 等级 产品成熟度界定 阶段 1 材料设计和制备的基本概念、原理形成 了解市场 的供需信息 实验室阶段 2 将概念、原理实施于 实验室材料制备和工艺控制中并初步得到验证 具有了实施市场化的计划框架 3 实验室制备工艺贯通，获得样品，主要性能通过实验室测试验证 确定了较为 明确的材料产品用户 4 试制工艺流程贯通，获得试制品，性能通过实验室测试验证 工程化阶段 5 试制品通过模拟环境验证 6 试制品通过使用环境验证 7 产品通过用户测试和认定，生产线完整，形成技术规范 企业通过用户的合格供应商认证 产业化阶段 8 产品能够稳定生产，满足质量一致性要求 产品实现小批量供货 9 产品生产要素得到优化，成为货架产品 产品实现大批量连续稳定供货 等级条件 4.2.1 等级1应符合表 2规定。 表2 等级1条件 序号 条件内容 1 发现可作为该材料研发基础的基本概念和基本原理 2 依据基本原理提出了材料的基本组分、结构，并预测了基本性能及使用性能 3 阐明了材料制备的基本原理 4 了解技术、产品的潜在 用户 5 了解潜在竞争者的研发动态 4.2.2 等级2应符合表 3规定。 表3 等级2条件 序号 条件内容 1 具备材料制备的基础条件 2 完成了材料制备原理的验证 3 明确了材料的关键技术指标和主要使用性能 4 完成了产品的市场分析和可行性研究 4.2.3 等级3应符合表 4规定。 全国团体标准信息平台 T/ICMTIA BS0029—2022 3 表4 等级3条件 序号 条件内容 1 确定了材料制备的实施方案 2 实现了实验室工艺贯通，制备出样品 3 完成了样品主要性能的实验室测试 4 有针对性的 了解用户的需求 4.2.4 等级4应符合表 5规定。 表5 等级4条件 序号 条件内容 1 工艺流程贯通，获得试制品 2 试制品性能通过实验室验证 3 完成产品工程化生产工艺可行性评估 4 建立了与用户的合作机制 4.2.5 等级5应符合表 6规定。 表6 等级5条件 序号 条件内容 1 完成试制品的制备 2 制定了完整的模拟环境试验验证和测试方法 3 试制品通过了模拟环境测试 4 全面掌握用户对产品的技术规格和使用要求 4.2.6 等级6应符合表 7规定。 表7 等级6条件 序号 条件内容 1 完成试制工艺流程优化 2 完成了试制品的工程化制备及性能评价 3 完成了试制品在用户