光学真空腔体洁净度检测规范 Specification for inspection of cleanliness index of optical vacuum cavity ICS 17.180 CCS C 40 2021 -08 - 25发布 2021 - 08- 25实施 中国技术监督情报协会 发布 团体标准 T/ CATSI 09010—2021 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/CATSI 09010—2021 I 目 次 前 言 ................................ ................................ ............ II 1 范围 ................................ ................................ .............. 1 2 规范性引用文件 ................................ ................................ .... 1 3 术语、定义和缩略语 ................................ ................................ 1 3.1 术语和定义 ................................ ................................ .... 1 3.2 缩略语 ................................ ................................ ........ 1 4 真空腔体污染物 ................................ ................................ .... 2 5 洁净度 ................................ ................................ ............ 2 5.1 等级划分 ................................ ................................ ...... 2 5.2 洁净级 ................................ ................................ ........ 2 5.3 超净级 ................................ ................................ ........ 2 5.4 危险级 ................................ ................................ ........ 3 6 检测准备 ................................ ................................ .......... 3 6.1 检测件 ................................ ................................ ........ 3 6.2 真空配件 ................................ ................................ ...... 3 6.3 检测位置 ................................ ................................ ...... 3 6.4 检测方法 ................................ ................................ ...... 3 6.5 仪器设备 ................................ ................................ ...... 4 7 检测与结果 ................................ ................................ ........ 4 7.1 检测 ................................ ................................ .......... 4 7.2 结果判定 ................................ ................................ ...... 4 附录A （资料性） 洁净度检测示例 ................................ .................... 5 参 考 文 献 ................................ ................................ ....... 8 全国团体标准信息平台 T/CATSI 09010—2021 II 前 言 本文件按照 GB/T 1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起 草。 本文件由中国技术监督情报协会提出。 本文件由中国 技术监督情报协会归口。 本文件起草单位：北京大学、广东省新兴激光等离子体技术研究院、上海交通大学、北京世华尖锋 科技有限公司、埃地沃兹贸易（上海）有限公司、北京中凯威科技发展有限责任公司、北京欣瑞拓科技 有限公司、上海米雾环保技术有限公司、北京锐德康科技有限公司。 本文件主要起草人：赵家瑞、马文君、颜学庆、朱昆、林晨、赵研英、袁忠喜、徐圣宣、耿易星、 牛化瑞、陈式有、高营、寿寅任、王科栋、陈黎明、陈民、王贵毅、许坚、张殿伟、杨大荥、李昂、莫 一心。 全国团体标准信息平台 T/CATSI 09010—2021 1 光学真空腔体洁净度检测规范 1 范围 本文件规定了光学真空腔体的真空腔 体污染物、洁净度、检测准备以及检测与结果等要求。 本文件适用于光学真空腔体洁净度的检测。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。 其中， 注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T 25915.1 洁净室及相关受控环境 第1部分：空气洁净度等级 GB/T 32218 真空技术 真空系统漏率测试方法 GB/T 32293 真空技术 真空设备的检漏方法选择 GB/T 36176 真空技术 氦质谱真空检漏方法 GB/T 40333 真空计 四极质谱仪的定义与规范 3 术语、定义和缩略语 3.1 术语和定义 GB/T 40333 、GB/T 25915.1 界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1.1 光学真空腔体 optical vacuum cavity 为激光的应用提供满足真空和洁净标准的密封光学腔体。 3.1.2 真空腔体洁净度 cleanliness of vacuum cavity 真空腔体经过机械加工、表面处理等工艺流程后，内部真空环境的洁净程度。 注：以腔体密封环境内残余的油污、粉尘、大颗粒等污染物来定义真空腔体的洁 净度等级。 3.1.3 分压 partial pressure 在真空腔体内的混合气体系统中，保留某一组分气体并除去所有其他气体，保持系统体积和温度不 变时该种气体所贡献的压强。 3.2 缩略语 下列缩略语适用于本文件。 全国团体标准信息平台 T/CATSI 09010—2021 2 RGA：残余气体分析仪（ Residual Gas Analyzer ） 4 真空腔体污染物 真空腔体污染物主要包括： a) 油脂：加工、安装和操作过程中沾染的润滑剂、真空油脂等； b) 液滴：操作过程中的手汗、吹玻璃时的唾液等； c) 表面氧化物：易氧化材料长期暴露或放置在潮湿大气中所形成的表面氧化物； d) 酸、碱、盐类物质：清洁后的 残余物质、手汗、自来水中的矿物质等； e) 空气中的尘埃及其它有机物。 5 洁净度 5.1 等级划分 光学真空腔体洁净度 等级分为： a) 洁净级； b) 超净级； c) 危险级； 5.2 洁净级 5.2.1 基本要求 所有真空腔体及其附属配件应避免沾染污染物，减少污染物挥发导致的光学元件污染 。 5.2.2 判定方法 所有真空腔体在抽至真空环境后应满足：经过最后一遍加热除油污工艺后，用标定好的 RGA测量腔 体内污染物， RGA应满足最小可检分压小于 1×10-12mbar，当腔体真空度达到 1×10-4 mbar且平稳后， RGA 在法拉第模式下测得 50~200相对分子质量区间的总分压不 高于1.2×10-7 mbar，且任意单独分子量对应 位置的分压不高于 1×10-9 mbar，否则视为有污 染。 5.2.3 适用对象 主要适应 于对洁净