(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222583056.7 (22)申请日 2022.09.28 (73)专利权人 上海积塔半导体有限公司 地址 201208 上海市浦东 新区中国 （上海） 自由贸易试验区临港新片区云水路 600号 (72)发明人 叶亮　刘纵曙　常建光　 (74)专利代理 机构 北京清大紫荆知识产权代理 有限公司 1 1718 专利代理师 黄贞君　黎飞鸿 (51)Int.Cl. F26B 9/06(2006.01) F26B 21/00(2006.01) F26B 21/06(2006.01) F26B 25/18(2006.01)F26B 25/00(2006.01) (54)实用新型名称 晶圆传送盒用干燥装置 (57)摘要 本实用新型提供了一种晶圆传送盒用干燥 装置， 包括用于水平支撑晶圆传送盒的门盖的若 干支架， 当晶圆传送盒承载于支架时， 门盖朝向 地面方向， 还包括连接外部干燥气源的干燥喷 头， 干燥喷头伸入晶圆传送盒的本体的中央腔室 中， 用于向中央腔室中传送压缩干燥气体。 该干 燥装置有利清洗后的残留水分向门盖方向流淌， 有利于排出氮气填充口滤嘴中残留的水和污染 物， 从而提高干燥效果、 洁净效果， 加快干燥过 程， 降低使用时其中装载的晶圆被污染的风险， 避免氮气填充口滤嘴堵塞， 延长晶圆传送盒的使 用寿命， 提高了晶圆产品良率。 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 CN 218155167 U 2022.12.27 CN 218155167 U 1.一种干燥装置， 用于 干燥晶圆传送盒， 其特 征在于， 所述干燥装置包括： 用于水平支撑所述晶圆传送盒的门盖的若干支架， 当所述晶圆传送盒承载于所述支架 时， 所述门盖朝向地 面； 连接外部干燥气源的干燥喷头， 所述干燥喷头伸入所述晶圆传送盒的本体的中央腔室 中， 以向所述中央腔室中传送压缩干燥气体。 2.根据权利要求1所述的干燥装置， 其特征在于， 所述干燥喷头的上端面设置有顶部 高 压喷嘴； 和/或， 所述干燥喷头的侧壁设置有侧部高压喷 嘴。 3.根据权利要求1所述的干燥装置， 其特 征在于， 所述干燥装置还 包括： 驱动所述干燥喷头在水平方向旋转的第一驱动部件； 和/或， 驱动所述干燥喷头在竖直方向升降的第二驱动部件。 4.根据权利要求1所述的干燥装置， 其特征在于， 所述干燥装置还包括固定托盘， 所述 固定托盘的中部开设有供所述干燥喷头通过的开口； 所述支架 为四个且设置于所述固定托 盘的上表面， 用于支撑所述门盖的四周顶点。 5.根据权利要求4所述的干燥装置， 其特征在于， 所述固定托盘设置有调节结构， 所述 支架对应安装于所述调节结构， 以适应不同尺寸的所述晶圆传送盒。 6.根据权利要求4所述的干燥装置， 其特征在于， 所述干燥装置还包括驱动所述固定托 盘在水平方向旋转的第三驱动部件。 7.根据权利要求1所述的干燥装置， 其特征在于， 所述干燥装置还包括加热部件， 所述 加热部件连接所述干燥喷头， 用于加热 所述压缩干燥气体。 8.根据权利要求1所述的干燥装置， 其特 征在于， 所述干燥喷头设置有气流调节阀。 9.根据权利要求1所述的干燥装置， 其特征在于， 所述干燥装置还包括连接所述干燥喷 头的气体流 量计。 10.根据权利要求1所述的干燥装置， 其特征在于， 所述干燥装置还包括连接所述干燥 喷头的过 滤机构。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218155167 U 2晶圆传送盒用干 燥装置 技术领域 [0001]本说明书涉及半导体技 术领域， 具体涉及一种晶圆传送盒用干燥装置 。 背景技术 [0002]在晶圆制造过程中， 晶圆传送盒(如Front  Opening Unified Pod， FOUP)  作为存 储晶圆的密闭腔 体容器， 最多 可以存放25 枚晶圆(Wafer)， 其内部有支撑和固定晶片的复杂 结构， 在使用时可能会粘留挥发物颗粒、 金属颗粒、 灰尘等异物， 造成晶圆污染， 严重时会损 伤晶圆。 因此， 保持晶圆传送盒的腔 体内部环境洁净尤为重要， 是晶圆生产制程重要的避免 污染的环 节。 [0003]在晶圆传送盒使用时， 需要定期进行清洗， 以满足其内部清洁度的需求。 在清洗后 干燥过程中， 所使用的干燥装置采用的是将晶圆传送盒正立放置的模式， 干燥时， 一个带有 高压喷嘴的机械臂伸入晶圆传送盒 中部的用于装载晶圆的空腔中， 喷入热的压缩空气进 行 干燥。 由于高压喷嘴位于空腔的中部位置， 整个空腔内的热 空气分布部均匀， 局部区域尤其 是内腔的拐角位置湿度较高， 而且晶圆传送盒处于正立状态， 其底部靠近后侧的拐角位置 设置有氮气填充口滤嘴， 水滴和水汽会在重力和热空气的吹动的双重作用下， 汇集在氮气 填充口滤嘴中， 该处的湿度高、 不易干燥， 清洗过程中残留的污染物会也集聚该处， 造成氮 气填充口滤嘴污染。 在正常使用晶圆传送盒时， 氮气填充口滤嘴连接保护氮气， 在氮气的吹 动下， 其中存留的水、 污染物会进入空腔， 增 加了晶圆被污染的风险。 实用新型内容 [0004]有鉴于此， 本说明书实施例提供一种晶圆传送盒用干燥装置， 能够避免氮气填充 口滤嘴存留水和污染物， 提高晶圆传送盒清洗后的干燥度和洁净度。 [0005]本说明书实施例提供以下技 术方案： [0006]一种干燥装置， 用于 干燥晶圆传送盒， 所述干燥装置包括： [0007]用于水平支撑所述晶圆传送盒的门盖的若干支架， 当所述晶圆传送盒承载于所述 支架时， 所述门盖朝向地 面； [0008]连接外部干燥气源的干燥喷头， 所述干燥喷头伸入所述晶圆传送盒的本体的中央 腔室中， 以向所述中央腔室中传送压缩干燥气体。 [0009]在上述方案中， 通过改变干燥时晶圆传送盒的放置方式， 将其门盖朝下放置， 此时 氮气填充口滤嘴位于上方， 在重力的作用下， 其中的水向下流淌， 并且内部腔室中其他位置 的水也会向下流淌， 干燥喷头进入晶圆传送盒的中央腔室中， 提供干燥空气， 干燥内部腔室 和门盖的内壁以及氮气填充口滤嘴， 多余的水还可以沿门盖的缝隙滴落， 从而提高晶圆传 送盒清洗后的干燥度和干燥效率， 而且即使氮气填充口滤嘴聚集了污染物， 也会随水流下， 并被气流吹走， 从而提高清洁度。 [0010]本说明书实施例还提供一种方案， 所述干燥喷头的上端面设置有顶部高压喷 嘴； [0011]和/或， 所述干燥喷头的侧壁设置有侧部高压喷 嘴。说　明　书 1/5 页 3 CN 218155167 U 3