(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222156829.3 (22)申请日 2022.08.16 (73)专利权人 理波光电科技 （无锡） 有限公司 地址 214000 江苏省无锡市高新区综合保 税区J3地 块8号厂房 (72)发明人 潘永成　 (74)专利代理 机构 无锡华源专利商标事务所 (普通合伙) 32228 专利代理师 过顾佳 (51)Int.Cl. G01N 21/21(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种光学镜片受点胶应力影响的性能在线 监测系统 (57)摘要 本申请公开了一种光学镜片受点胶应力影 响的性能在线监测系统， 涉及光学技术领域， 该 系统搭建相互交叉的干涉光路和偏振光路， 第一 五维电动平台设置在第一旋转电动平台上， 第一 五维电动平台的表面形成为点胶工位用于放置 待点胶组装的镜片底座及其上的光学镜片， 光学 镜片置于干涉光路和偏振光路的交叉位置， 使 得 在点胶工位处执行点胶操作时可以直接利用搭 建的光路实时观察点胶固化过程对光学镜片性 能的影响， 便于及时调整点胶操作， 性能监测的 实时性较好； 且由第一五维电动平台和第一旋转 电动平台带动光学镜片在光路中的调整， 可以实 现纳米级别电动调节， 调节精度高， 而且调节方 式简单。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 218067628 U 2022.12.16 CN 218067628 U 1.一种光学镜片受点胶应力影响的性能在线监测系统， 其特征在于， 在所述性能在线 监测系统中， 第一五维电动平 台 （8） 设置在第一旋转电动平台 （9） 上， 所述第一五维电动平 台 （8） 的表面形成为点胶工位， 待点胶组装的光学镜片 （6） 设置在镜片底座 （7） 上并置于所 述第一五 维电动平台 （8） 表面的点胶工位处； 干涉仪 （4） 和标准镜 （11） 对向设置形成干涉光路； 激光光源 （14） 、 光阑 （15） 、 半玻片 （18） 、 第一偏振器 （19） 、 第二偏振器 （22） 以及第二光功率探头 （25） 依次设置形成偏振光路； 所述干涉光路和所述偏振光路相互交叉， 且所述光学镜片 （6） 同时位于所述干涉光路和所 述偏振光路上， 所述光学镜片 （6） 在所述干涉光路上位于所述干涉仪 （4） 和标准镜 （11） 之 间， 所述光学镜片 （6） 在所述偏振光路上位于所述第一偏振器 （19） 和所述第二偏振器 （22） 之间； 上位机 （3） 连接所述干涉仪 （4） 、 第一运动控制器 （20） 和功率计 （21） ， 所述第一运动控 制器 （20） 连接并控制所述第一 五维电动平台 （8） 和所述第一旋转电动平台 （9） ， 所述功 率计 （21） 连接所述第二 光功率探 头 （25） 。 2.根据权利要求1所述的性能在线监测系统， 其特征在于， 所述标准镜 （11） 设置在第二 五维电动平台 （12） 上， 所述第一运动控制器 （20） 还连接并控制所述第二五维电动平台 （12） 。 3.根据权利要求1所述的性能在线监测系统， 其特征在于， 所述第 二偏振器 （22） 设置在 第二旋转电动平台 （23） 上， 所述上位机 （3） 还 连接第二运动控制器 （24） ， 所述第二运动控制 器 （24） 连接并控制所述第二旋转电动平台 （23） 。 4.根据权利要求1所述的性能在线监测系统， 其特征在于， 所述光阑 （15） 和所述半玻片 （18） 之间还设置分光棱镜 （16） ， 所述分光棱镜 （16） 的一路出射光入射所述半玻片 （18） 、 另 一路出射 光入射第一 光功率探 头 （17） ， 所述功率计 （21） 还连接所述第一 光功率探 头 （17） 。 5.根据权利要求1所述的性能在线监测系统， 其特征在于， 所述性 能在线监测系统还包 括UV照射光源 （13） 及其连接的UV导光光纤束 （10） ， 所述UV导光光纤束 （10） 的出光口朝向所 述光学镜片 （6） 与所述镜片底座 （7） 之间的点胶位置， 所述上位机 （3） 连接所述UV照射光源 （13） 。 6.根据权利 要求5所述的性能在线监测系统， 其特征在于， 所述UV导光光纤束 （10） 固定 在可调支架上， 所述UV 导光光纤束 （10） 与点胶位置之间的垂直距离、 水平距离、 出光角度可 调。 7.根据权利要求1所述的性能在线监测系统， 其特征在于， 所述性 能在线监测系统中的 器件设置在防震台上， 所述防震台包括防震桌腿 （2） 及其支撑的台面 （1） 。 8.根据权利要求1所述的性能在线监测系统， 其特征在于， 所述性 能在线监测系统还包 括显示屏 （5） ， 所述上位机 （3） 连接所述显示屏 （5） 。 9.根据权利要求1所述的性能在线监测系统， 其特 征在于， 所述 光阑 （15） 为可调光阑。 10.根据权利要求1所述的性能在线监测系统， 其特征在于， 所述干涉光路和所述偏振 光路在水平面上相互垂直。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218067628 U 2一种光学 镜片受点胶应力影响的性能在线 监测系统 技术领域 [0001]本申请涉及 光学技术领域， 尤其是一种光学镜片受点胶应力影响的性能在线监测 系统。 背景技术 [0002]随着科技的进步越来越快， 半导体和医疗设备的光学系统对光学镜片的精度要求 也越来越高， 光学镜片在应力作用下会由各向同性介质变为各向异性介质， 通过光学镜片 的光就会产生 光的双折 射， 影响成像质量和光学系统的精度。 [0003]除了光学镜片的材质本身的内应力的作用之外， 在将光学镜片组装到镜片底座上 时需要对两者的接触位置进行点胶， 而点胶固化过程产生的应力也会对光学镜片的性能产 生影响。 点胶固化产生的应力不仅会导致组装完成后光学镜片出现双折射现象而影响光学 镜片的面型精度， 还 会影响光学镜片的偏振态。 [0004]不同的点胶工艺参数会导致点胶固化对光学镜片的性能所产生的影响都不同， 目 前通常按照人工经验来确定使用的胶水、 点胶量和点胶位置等点胶工艺操作， 然后点胶固 定完成组装后， 搭建光路测试组装完成的光学镜片的面型精度， 再搭建光路测试组装完成 的光学镜片的偏振态， 若不符合指标要求则再返工重新组装， 整体组装测试的过程较长， 而 且组装完成后检测再返工的做法也效率较低。 实用新型内容 [0005]本申请人针对上述问题及 技术需求， 提出了一种光学镜片受点胶应力影响的性能 在线监测系统， 本申请的技 术方案如下： [0006]一种光学镜片受点胶应力影响的性能在线监测系统， 在该性能在线监测系统中， 第一五维电动平台设置在第一旋转电动平台上， 第一五维电动平台的表面形成为点胶工 位， 待点胶组装的光学镜片设置在镜片底座上并置于第一五维电动平台表面的点胶工位 处； [0007]干涉仪和标准镜对向设置形成干涉光路； 激光光源、 光阑、 半玻片、 第一偏振器、 第 二偏振器以及第二光功率探头依 次设置形成偏振光路； 干涉光路和偏振光路相互交叉， 且 光学镜片同时位于干涉光路和偏振光路上， 光学镜片在干涉光路上位于干涉仪和标准镜之 间， 光学镜片在偏振光路上位于第一偏振器和第二偏振器之间； [0008]上位机连接干涉仪、 第一运动控制器和功率计， 第一运动控制器连接并控制第一 五维电动平台和第一旋转电动平台， 功率计连接第二 光功率探 头。 [0009]其进一步的技术方案为， 标准镜设置在第二五维电动平台上， 第一运动控制器还 连接并控制第二五 维电动平台。 [0010]其进一步的技术方案为， 第二偏振器设置在第二旋转电动平台上， 上位机还连接 第二运动控制器， 第二 运动控制器连接并控制第二旋转电动平台。 [0011]其进一步的技术方案为， 光阑和半玻片之间还设置分光棱镜， 分光棱镜的一路出说　明　书 1/4 页 3 CN 218067628 U 3